3月21日上午，机械工程学院特邀西湖大学李西军研究员做客弘毅讲坛。李西军研究员在花溪校区中山图书馆报告厅作题为“微纳加工中的科学原理”的学术报告。本次报告会由机械工程学院副院长王毅教授主持，学院共百余名师生参加。

报告会上，李西军研究员以微纳加工的起源与发展为主线，系统梳理了集成电路、微机电系统到现代微纳加工平台的技术演进历程，重点剖析了电子束曝光、等离子刻蚀、薄膜沉积等核心工艺的科学原理。并借助蒙特卡洛模拟、表面电荷调控等实例，生动阐释了微纳加工中“科学原理驱动技术创新”的理念。此外，李西军研究员还分享了其团队在铌酸锂晶圆与器件应用方面取得的突破性进展，包括铁电畴加工、高集成度波导管制备及非线性光学效应增强等方面的创新性成果，展示了如何通过半导体工艺优化解决传统技术瓶颈，为光电子芯片的微型化与高性能化提供了新思路。最后，李西军研究员还提出“芯片数字化生产技术”的革新方向，重点介绍了可编程光刻掩模版和保形工艺装备的研究进展。强调保形刻蚀技术将突破传统工艺的平面限制，实现三维结构的精准加工，为下一代芯片制造开辟新路径。同时，他还分享了西湖大学先进微纳加工与测试平台的工艺规划，倡导产学研协同创新，助力我国芯片产业生态优化升级。

报告结束后，与会师生围绕微纳加工中的技术难点、跨学科技术融合等议题与李西军研究员展开深入交流。本次报告增加了参会师生对微纳加工技术物理和化学原理的了解，激发了师生们对利用微纳加工技术相关科学原理实现工艺创新兴趣和探索欲望，活跃了师生们的学术思想与创新思维。

报告现场